[发明专利]基于铜表面的导热防腐蚀的复合膜层及制备方法有效

专利信息
申请号: 201911232796.2 申请日: 2019-12-05
公开(公告)号: CN111020573B 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 宋贵宏;胡方;王丽梅 申请(专利权)人: 沈阳工业大学
主分类号: C23C28/00 分类号: C23C28/00;C23C14/16;C23C14/35;C23C16/26;C23C16/50
代理公司: 沈阳智龙专利事务所(普通合伙) 21115 代理人: 宋铁军
地址: 110870 辽宁省沈阳*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明属于表面改性技术领域,特别指基于铜表面的导热防腐蚀的复合膜层及制备方法。复合膜层包括钛或铬金属层;类金刚石层,层叠于钛或铬金属层的表面。复合膜的制备方法是在铜或者铜制品表面利用高纯铬靶或钛靶进行磁控溅射,沉积钛或铬金属层;原位真空时效处理;在钛或铬金属层上通过等离子体增强化学气相沉积法,沉积类金刚石层。现有技术将对于铜表面的镀层技术中缺少既能防腐蚀又能保持铜的良好导热性的镀膜技术。本发明提出了一种将导热金属膜层与类金刚石膜构成的复合膜层用于散热器铜管或铜制品表面导热和防腐蚀膜层的新技术,复合膜具备结合力好、导热性能优的特点。
搜索关键词: 基于 表面 导热 腐蚀 复合 制备 方法
【主权项】:
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