[发明专利]一种制程设备的控制方法及装置有效
| 申请号： | 201911231282.5 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN111123745B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 周利锋 | 申请（专利权）人： | 苏州华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制程设备的控制方法及装置，该方法包括：获取所述制程组件的预设制程数据，其中所述预设制程数据包括多个预设制程参数；获取所述测量组件的测量数据；所述测量数据包括多个测量参数；所述测量参数与所述预设制程参数对应；根据所述测量数据在所述预设制程数据中选取满足设定条件的预设制程参数作为目标制程参数；根据目标制程参数对所述制程组件的初始制程参数进行调整，以使调整后的制程参数满足预设参数条件。本发明的制程设备的控制方法及装置，能够提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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