[发明专利]基于激光诱导击穿光谱的氦气在线检测系统在审
| 申请号： | 201911230404.9 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111077132A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陈达;张鹏飞;王彤 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71;G01M3/20 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光诱导击穿光谱的氦气检测系统，包括脉冲激光器，产生高能量纳秒激光脉冲，用于击穿待测气体产生等离子体发光光子；气体腔，为待测气体样品的检测区域；光纤，一端固定于所述光纤耦合接口，其光纤头设置于所述透镜的焦平面上并对准透镜的焦点位置，用于将等离子体发光光子耦合进入光纤中；光谱仪，与所述光纤另一端相连，用于解析待测气体中是否含有氦气及氦气含量；抽气泵，通过管道与所述气体腔相连，相连接的管道上设置有出气阀；以及柔性采样头，用于对不同空间区域的气体进行采样，通过管道与所述气体腔相连，相连接的管道上设置有进气阀。本系统适合于工业领域的氦气检漏的现场检测。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 诱导 击穿 光谱 氦气 在线 检测 系统 | ||
【主权项】：
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