[发明专利]用于光电检测设备的异面空间角度测量装置及测量方法有效
申请号: | 201911227663.6 | 申请日: | 2019-12-04 |
公开(公告)号: | CN111076699B | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 王致强;陆卫国;陈森;郑基睿;王晓伟;王海霞;雷瑞利 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01C1/00 | 分类号: | G01C1/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 史晓丽 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明属于高精度角度测量领域,为了解决光学自准直测量法测量误差大,测量时需要将被测设备搬离至测量环境,以及对测量环境要求高的问题,提供用于光电检测设备的异面空间角度测量装置及测量方法。测量装置的标定自准直仪发出的准直光束通过分束镜后分两束,一束通过斜方棱镜后准直中继直角棱镜,另一束通过五棱分光镜后再分为两束。测量方法是分别通过斜方棱镜和两个直角屋脊棱镜,对中继直角棱镜和两个被测直角棱镜准直,得到中继直角棱镜和被测直角棱镜外法线与标定自准直仪光轴方位夹角,被测设备自身再准直中继直角棱镜,得到其光轴与中继直角棱镜外法线方位夹角,借助中继直角棱镜,完成被测设备光轴与被测直角棱镜外法线方位夹角的测量。 | ||
搜索关键词: | 用于 光电 检测 设备 空间 角度 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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