[发明专利]一种用于方棒中转的机械手装置在审
| 申请号： | 201911225934.4 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN110815166A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 吴广忠;张笑笑;赵晓;东野广俊;王勇;宋培林;解培玉 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J5/02 | 分类号： | B25J5/02;B25J9/02;B25J15/08;B25J11/00;B24B41/00;B24B27/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 郭智 |
| 地址： | 266114 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于方棒中转的机械手装置，属于半导体晶硅加工设备领域，包括中转框架，所述中转框架上滑动连接有抓手支架组件，所述抓手支架组件的下方滑动连接有抓手基板组件，所述抓手基板组件的下部设有至少一组方棒夹持单元，所述方棒夹持单元与所述抓手基板组件滑动连接，在夹持方棒的同时实现在X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节，能够抓取不同长度和宽度的方棒，具有重复定位精度高、适用范围广泛的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 中转 机械手 装置 | ||
【主权项】：
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