[发明专利]下电极及化学气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种下电极及化学气相沉积装置，该下电极包括基座、设置于所述基座上的承载板以及镀在所述承载板表面的阳极膜；其中，所述阳极膜包括第一区域以及包围所述第一区域设置的第二区域，所述第一区域的表面粗糙度为第一粗糙度，所述第二区域的表面粗糙度为第二粗糙度，所述第一粗糙度大于所述第二粗糙度，所述承载板用于承载玻璃基板，且所述玻璃基板的四角位于所述第二区域。本发明通过改变下电极阳极膜内第一区域和第二区域的形状，使得化学气相沉积制程中玻璃基板的四角位于所述第二区域，从而减少了玻璃基板下表面边缘因与下电极挤压而产生的刮伤，提高了OLED产品的生产良率。