[发明专利]一种解决石墨舟镀膜工艺中膜厚异常的方法及石墨舟镀膜工艺方法

摘要

本发明公开了一种解决石墨舟镀膜工艺中膜厚异常的方法及石墨舟镀膜工艺方法，所述石墨舟镀膜工艺方法，包括：将晶硅太阳能电池硅片在通高纯氮气时置于第一预设温度环境中，关闭炉门，抽真空；炉管内达到真空要求后，升温至第二预设温度后检测炉管密闭性；向炉内通氨气和硅烷，在一定电压下反应生成氮化硅；执行所述S1和S2后，获得氮化硅沉积后的晶硅太阳能电池硅片；冲洗吹扫并充氮气后出舟，完成镀膜工艺。本发明有效解决了新饱和石墨舟使用初期氮化硅膜厚偏低颜色发红和使用末期氮化硅膜膜厚偏大颜色偏白问题，使石墨舟使用整个周期内氮化硅膜厚和颜色保持稳定，大大降低了返工，减少生产成本，提升经济效益。