[发明专利]微型器件转移头及其制造方法、微型器件的转移方法在审
| 申请号： | 201911212774.X | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110931393A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王俊星;张良玉;朱景辉;朱充沛;高威 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L27/15 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种微型器件转移头及其制造方法、微型器件的转移方法，涉及微型发光二极管领域。所述微型器件转移头包括基础衬底、位于基础衬底上的多个可磁化的金属柱、位于基础衬底上且包围金属柱的保护层以及位于基础衬底背面的环形螺线管。本发明通过微型器件转移头的金属柱产生的磁力可以对微型发光二极管底部的键合金属层产生吸附作用，进而将微型发光二极管拾起。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 器件 转移 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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