[发明专利]具有最佳参考路径长度的光声气体传感器有效
| 申请号： | 201911212607.5 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN111435111B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | H·托伊斯 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有最佳参考路径长度的光声气体传感器。例如，光声气体传感器可包括检测器部件。检测器部件包括限定参考体积的封装。参考体积容纳参考气体。检测器部件包括压力感测元件，以测量参考体积中的压力的量。参考体积中的压力的量取决于参考体积中的参考气体对光的波长的吸收。测量参考体积中的压力的量时的压力感测元件的灵敏度取决于与参考体积相关联的参考路径的长度。检测器部件包括参考路径结构，其使得参考路径的长度小于或等于0.5毫米。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 最佳 参考 路径 长度 声气 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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