[发明专利]基于毛细力的微操作装置及方法在审
| 申请号: | 201911206478.9 | 申请日: | 2019-11-29 |
| 公开(公告)号: | CN110767597A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
| 发明(设计)人: | 常博;王彬开;周权 | 申请(专利权)人: | 陕西科技大学 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司: | 61200 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人: | 范巍 |
| 地址: | 710021*** | 国省代码: | 陕西;61 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明公开了一种基于毛细力的微操作装置及方法,属于微操作技术领域,将液滴生成机构、移动操作机构和顶视图机构均设置在减振台上,在减振台上进行操作能够减小外部振动对微器件操作的影响,从而在毛细力的作用下完成对微器件的高效、高精度拾取、转移和释放。通过计算机能够集成控制微量推进泵、工业相机及三维电动位移平台,可实现微器件操作过程的自动化控制。本发明的基于毛细力的微操作装置结构简单,能够实现自动化控制,操作方便,易于实现工业化生产。 | ||
| 搜索关键词: | 毛细力 微器件 微操作装置 自动化控制 减振 电动位移平台 移动操作机构 微量推进泵 操作过程 工业相机 集成控制 外部振动 液滴生成 顶视图 微操作 减小 拾取 三维 释放 计算机 | ||
【主权项】:
1.基于毛细力的微操作装置,其特征在于,包括减振台(23),液滴生成机构,移动操作机构,斜视图机构,控制器以及计算机;/n所述液滴生成机构包括微量推进泵(22)和注射针头(13),微量推进泵(22)上设置有第一注射器(21)及第二注射器(20),使用时,第一注射器(21)及第二注射器(20)能够与注射针头(13)连接;/n所述移动操作机构包括电动移动平台和手动移动平台,电动移动平台为XYZ三维电动位移平台,手动移动平台包括XY二维手动移动平台和XYZ三维手动移动平台,上述三个移动平台均通过其各自的Y轴移动台固定在减振台(23)上;/n注射针头(13)可拆卸固定在XYZ三维电动位移平台上,在XY二维手动移动平台上可拆卸固定有载物台(14);/n在所述XYZ三维手动移动平台上设有第一显微镜头(6),在第一显微镜头(6)上可拆卸连接有第一工业相机(4);/n所述斜视图机构,包括第二显微镜头(12)及与其可拆卸相连的第二工业相机(8),以及用于调整第二显微镜头(12)和第二工业相机(8)的位置及角度的调节机构;/n所述控制器与计算机电性相连,计算机能够集成控制XYZ三维电动位移平台、微量推进泵(22)、第一工业相机(4)及第二工业相机(8)作业。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





