[发明专利]基于毛细力的微操作装置及方法在审

专利信息
申请号: 201911206478.9 申请日: 2019-11-29
公开(公告)号: CN110767597A 公开(公告)日: 2020-02-07
发明(设计)人: 常博;王彬开;周权 申请(专利权)人: 陕西科技大学
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 61200 西安通大专利代理有限责任公司 代理人: 范巍
地址: 710021*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种基于毛细力的微操作装置及方法,属于微操作技术领域,将液滴生成机构、移动操作机构和顶视图机构均设置在减振台上,在减振台上进行操作能够减小外部振动对微器件操作的影响,从而在毛细力的作用下完成对微器件的高效、高精度拾取、转移和释放。通过计算机能够集成控制微量推进泵、工业相机及三维电动位移平台,可实现微器件操作过程的自动化控制。本发明的基于毛细力的微操作装置结构简单,能够实现自动化控制,操作方便,易于实现工业化生产。
搜索关键词: 毛细力 微器件 微操作装置 自动化控制 减振 电动位移平台 移动操作机构 微量推进泵 操作过程 工业相机 集成控制 外部振动 液滴生成 顶视图 微操作 减小 拾取 三维 释放 计算机
【主权项】:
1.基于毛细力的微操作装置,其特征在于,包括减振台(23),液滴生成机构,移动操作机构,斜视图机构,控制器以及计算机;/n所述液滴生成机构包括微量推进泵(22)和注射针头(13),微量推进泵(22)上设置有第一注射器(21)及第二注射器(20),使用时,第一注射器(21)及第二注射器(20)能够与注射针头(13)连接;/n所述移动操作机构包括电动移动平台和手动移动平台,电动移动平台为XYZ三维电动位移平台,手动移动平台包括XY二维手动移动平台和XYZ三维手动移动平台,上述三个移动平台均通过其各自的Y轴移动台固定在减振台(23)上;/n注射针头(13)可拆卸固定在XYZ三维电动位移平台上,在XY二维手动移动平台上可拆卸固定有载物台(14);/n在所述XYZ三维手动移动平台上设有第一显微镜头(6),在第一显微镜头(6)上可拆卸连接有第一工业相机(4);/n所述斜视图机构,包括第二显微镜头(12)及与其可拆卸相连的第二工业相机(8),以及用于调整第二显微镜头(12)和第二工业相机(8)的位置及角度的调节机构;/n所述控制器与计算机电性相连,计算机能够集成控制XYZ三维电动位移平台、微量推进泵(22)、第一工业相机(4)及第二工业相机(8)作业。/n
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