[发明专利]光罩识别系统及其识别方法、光刻设备在审
| 申请号： | 201911193327.4 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111221221A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 朱晓斌;蔡亮 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光罩识别系统，包括工作台及光罩存储模块，所述光罩存储模块用于存储光罩，所述光罩存储模块的底面设置有用于标识所述光罩的标识单元，所述工作台的顶面设置有识别单元，当所述识别单元识别到所述标识单元时，将所述光罩存储模块放置在所述工作台上。通过在光罩存储模块上设置与其内存储的光罩信息相匹配的标识单元，以及在工作台上设置用于识别所述标识单元的识别单元，能够有效识别光罩存储模块内的光罩，避免了因光罩选择错误而对光罩造成损伤的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 识别 系统 及其 方法 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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