[发明专利]MOM电容器、电容阵列结构及其版图设计方法有效
| 申请号： | 201911187427.6 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111129304B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 吴亚芬;何飒;李兴旺;王春鹏 | 申请（专利权）人： | 联芸科技（杭州）股份有限公司 |
| 主分类号： | H10N97/00 | 分类号： | H10N97/00;H01L27/08 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;刘静 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州市滨江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种MOM电容器、电容阵列结构以及制造方法。该MOM电容器包括：衬底；在所述衬底上方依次层叠设置的第一层、第二层和第三层，所述第一层和所述第三层分别为一个极板，所述第二层包括属于第一部分和第二部分的多个电极条，所述第一部分的至少部分电极条围绕着所述第二部分的电极条设置；多个通孔，用于将所述第一部分的电极条电连接到所述第一层和所述第三层，以形成第一电极，所述第二部分的电极条形成第二电极，所述第二电极与所述第一电极的极性相反；以及设置在所述第一电极与所述第二电极之间的绝缘层。本发明实施例提供的MOM电容器和电容阵列结构，可以显著地减小第二电极和电源地之间的寄生电容。 | ||
| 搜索关键词： | mom 电容器 电容 阵列 结构 及其 版图 设计 方法 | ||
【主权项】：
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