[发明专利]加速度传感器、电子设备及移动体在审
申请号: | 201911185592.8 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN111239440A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 泷泽照夫 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125;G01C19/5733;G01C21/16;G01S19/47 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 车美灵 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供加速度传感器、电子设备及移动体。加速度传感器具有:基板;第一可动体,具备隔着第一摆动轴配置的第一可动部和围绕所述第一摆动轴的旋转力矩小于所述第一可动部的旋转力矩的第二可动部,并且相对于所述基板围绕所述第一摆动轴摆动;第二可动体,具备隔着第二摆动轴配置的第三可动部和围绕所述第二摆动轴的旋转力矩小于所述第三可动部的旋转力矩的第四可动部,并且相对于所述基板围绕所述第二摆动轴摆动;第一固定电极,配置于所述基板,与所述第一可动部相对;第二固定电极,与所述第二可动部相对;第三固定电极,与所述第三可动部相对;第四固定电极,与所述第四可动部相对;以及连结部,连结所述第一可动体和所述第二可动体。 | ||
搜索关键词: | 加速度 传感器 电子设备 移动 | ||
【主权项】:
暂无信息
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