[发明专利]双滑台同步缓冲机构和密封门装置有效
| 申请号： | 201911185482.1 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112859527B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;王刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双滑台同步缓冲机构和密封门装置，包括：两个滑块和自适应调节结构；两个所述滑台分设于一操作对象相对的两侧，用于驱动所述操作对象往复运动；所述自适应调节结构设于一所述滑台上，并与所述滑台固定连接，所述自适应调节结构具有沿所述往复运动的方向的形变自由度，在滑台驱动所述操作对象做往复运动的过程中，当两个所述滑台因速度不同而导致不同步时，所述自适应调节结构通过往复运动方向上的形变来产生作用力作用于另一所述滑台上，以减小两个所述滑台的速度差，直至两个所述滑台同步，故而可以避免发生因不同步而导致滑台受损的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 双滑台 同步 缓冲 机构 密封 装置 | ||
【主权项】：
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