[发明专利]等离子体腔室的传输线RF施加器有效
| 申请号： | 201911183526.7 | 申请日： | 2012-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN111010795B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | J·库德拉;T·塔纳卡;C·A·索伦森;S·安瓦尔;J·M·怀特;R·I·欣德;S-M·赵;D·D·特鲁翁 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种传输线RF施加器装置和用于将RF功率耦接至等离子体腔室中的等离子体的方法。装置包括内导体和一个或两个外导体。所述一个或两个外导体的每个外导体的主要部分包括多个孔，所述多个孔在外导体的内表面和外表面之间延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 体腔 传输线 rf 施加 | ||
【主权项】：
暂无信息
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