[发明专利]用于离子源的灯丝、离子源及离子注入机有效
| 申请号： | 201911174571.6 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111354613B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 朴兴雨;李河圣;崔钟武;金成基 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于离子源的灯丝，所述灯丝能够在通电时释放热电子，所述灯丝的两端分别用于与电源连接，所述灯丝包括三个扭转部，位于中间的所述扭转部呈单重螺旋环状，位于两侧的所述扭转部呈多重螺旋环状，中间的所述扭转部形成的环的直径比两侧的所述扭转部形成的环的直径大。本发明将单重螺旋环的扭转部设于两个多重螺旋环的扭转部之间，多重螺旋环的扭转部释放热电子的效率高，而单重螺旋环的扭转部平衡多重的电流，使得灯丝既能保持释放热电子的效率，又降低了断路的风险。本发明还提供一种离子源及离子注入机。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子源 灯丝 离子 注入 | ||
【主权项】：
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