[发明专利]一种内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器在审
| 申请号： | 201911173531.X | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110794347A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 吕飞;张金;刘飞 | 申请（专利权）人： | 金陵科技学院 |
| 主分类号： | G01R33/07 | 分类号： | G01R33/07 |
| 代理公司： | 32237 江苏圣典律师事务所 | 代理人： | 胡建华 |
| 地址： | 210038 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器，包括作为电子运动空间，结合霍尔效应产生霍尔电压，从而实现对磁场的探测的有源区；将有源区与外部金属层相连，用于恒流激励的施加，以及霍尔电压的输出的电极；以及采用芯片内部互联方式的互联线；所述电极为7个，分别为C1～C7，采用对称式分布；7个电极两两采用内部互联线相连，互联的两电极位于对称点两侧。通过两侧电流交换减小两侧非对称性带来的传感器失调。本发明内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器与传统的与电极垂直霍尔传感器相比失调电压降低到原来的9.8％，失调磁场降低到原来的11.7％。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 霍尔磁传感器 霍尔电压 互联 低失调 互联线 源区 磁场 失调 垂直 垂直霍尔传感器 电子运动空间 对称式分布 外部金属层 电流交换 非对称性 恒流激励 互联方式 霍尔效应 失调电压 传感器 传统的 对称点 减小 探测 芯片 施加 输出 | ||
【主权项】：
1.一种内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器，其特征在于，包括：/n有源区，作为电子运动空间，结合霍尔效应产生霍尔电压，从而实现对磁场的探测；/n电极：将有源区与外部电路相连，用于恒流激励的施加，以及霍尔电压的输出；其中，所述电极为7个，分别为C1～C7，采用对称式分布；/n互联线：采用M1和M2两层金属层实现芯片内部互联；其中，电极C2与C6通过金属层M1互联，并通过金属层M1管脚PAD0接地；电极C1与C5通过金属层M1互联，并通过金属层M1管脚PAD1实现霍尔电压输出；/n电极C4通过金属层M2管脚PAD3实现偏置电流输入；电极C3与C7通过金属层M2互联，并通过金属层M2管脚PAD2实现霍尔电压输出。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于金陵科技学院，未经金陵科技学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911173531.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于磁扭电效应的磁场传感器及其制造方法
- 下一篇：磁场感测装置
