[发明专利]框架一体型掩模的制造方法及框架一体型掩模的掩模分离/替换方法有效
| 申请号： | 201911173364.9 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111218644B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 李炳一;张泽龙 | 申请（专利权）人： | TGO科技株式会社 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及框架一体型掩模的制造方法及框架一体型掩模的掩模分离/替换方法。本发明涉及框架一体型掩模的制造方法，该框架一体型掩模由多个掩模和用于支撑掩模的框架一体形成，该方法包括：(a)准备模板上粘合有掩模的掩模支撑模板的步骤，掩模上形成有多个掩模图案；(b)将包括具有多个掩模单元区域的框架的工艺区域的温度上升至第一温度的步骤；(c)将模板装载在框架上并将掩模对应至框架的掩模单元区域的步骤；(d)将掩模附着在框架上的步骤；(e)反复步骤(c)至步骤(d)将掩模附着至框架的所有掩模单元区域的步骤；(f)将包括框架的工艺区域的温度下降至第二温度的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 框架 体型 制造 方法 分离 替换 | ||
【主权项】：
暂无信息
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