[发明专利]一种极紫外光学元件性能参数测试系统有效
| 申请号： | 201911171641.2 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN110895192B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 谢婉露;吴晓斌;王魁波;罗艳;张罗莎;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种极紫外光学元件性能参数测试系统，该系统包括极紫外光源腔室、光收集纯化腔室和测量腔室，其中：极紫外光源腔室，用于发出辐照光；光收集纯化腔室，用于对极紫外光源腔室发出的辐照光进行光谱纯化及聚焦，得到中心波长为13.5nm的极紫外光，并将极紫外光反射传输到测量腔室中；测量腔室，用于装载待测光学元件，使极紫外光照射到所述待测光学元件的表面，实现对待测光学元件特性参数的测试。本发明提供的极紫外光学元件性能参数测试系统，结构简单，操作方便，可以在不破坏真空环境条件下，实现极紫外探测器光谱响应率、反射镜反射率、滤光片透过率等光学元件的不同性能的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光学 元件 性能参数 测试 系统 | ||
【主权项】：
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