[发明专利]振动式传感器装置有效
申请号: | 201911171213.X | 申请日: | 2019-11-26 |
公开(公告)号: | CN111239439B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 岩井滋人;野吕诚 | 申请(专利权)人: | 横河电机株式会社 |
主分类号: | G01P15/10 | 分类号: | G01P15/10 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 金兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 振动式传感器装置具备基座和检测基板。所述检测基板具有:可动部,在第1方向上移动;支承机构,由一个或多个支承部构成,一个或多个该支承部在沿着与所述第1方向相交的相交面的方向上延伸;中间固定部,经由所述支承机构与所述可动部连接;连接部,在作为沿着所述相交面的一方向的第2方向上,将固定于所述基座的安装部和所述中间固定部连接;及振子,至少一部分安装于一个或多个所述支承部。在所述相交面内与所述第2方向正交的第3方向上的所述连接部的最大尺寸比在所述第3方向上的所述支承机构的最大尺寸小。 | ||
搜索关键词: | 振动 传感器 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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