[发明专利]一种基于光热折变玻璃的反射式体光栅制备方法有效
| 申请号: | 201911167157.2 | 申请日: | 2019-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN110879433B | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
| 发明(设计)人: | 晋云霞;孔钒宇;何冬兵;邵建达;曹红超;张益彬;王勇禄;陈俊明;孙勇;徐姣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
| 代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
| 地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: |
一种基于光热折变玻璃的反射式体光栅制备方法,包括步骤:(1)曝光面进行精抛光;采用双束紫外平行光形成的干涉条纹对PTR玻璃进行曝光;采用450‑550℃的温度进行热显影;沿垂直于曝光入射面方向切割;对切割面精抛光处理后镀上对使用波长λ |
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| 搜索关键词: | 一种 基于 光热 折变 玻璃 反射 光栅 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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