[发明专利]一种低场量子电阻测量仪有效

专利信息
申请号: 201911165146.0 申请日: 2019-11-25
公开(公告)号: CN111060749B 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 黄晓钉;宋海龙;徐思伟;于珉;蔡建臻;门伯龙;孙毅;潘攀 申请(专利权)人: 北京东方计量测试研究所
主分类号: G01R27/08 分类号: G01R27/08
代理公司: 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 代理人: 朱亚娜;吴小灿
地址: 100086 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种低场量子电阻测量仪,使用技术成熟、维护成本低的GM制冷机作为冷源进行量子霍尔电阻测量,并通过悬挂机构将多级GM制冷机与杜瓦冷罐相互独立设置以减少振动对量子霍尔电阻芯片的测量不确定度的影响,利用常温下的低频电流比较仪电桥将量子霍尔电阻量值传递给被测电阻,将量子电阻测量仪的测量不确定度保持在10‑8量级,使量子电阻测量仪连续运行成为可能,从设备成本和运行成本上节省大量资金,不需要额外消耗紧缺资源液氦,避免了资源的浪费。采用JT循环系统使量子电阻测量仪即可用石墨烯量子霍尔电阻芯片又可用低场砷化镓量子霍尔电阻芯片进行测量,且设计可拆卸式样品杆,并在样品杆内设置芯片转换装置,提高了设备的通用性。
搜索关键词: 一种 量子 电阻 测量仪
【主权项】:
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