[发明专利]一种多层耦合结构多波段石墨烯探测器及其制备工艺

摘要

本发明公开了一种多层耦合结构多波段石墨烯探测器及其制备工艺。该探测器包括二氧化硅/硅基底、底层石墨烯、底层金属纳米颗粒、源极、漏极、顶层石墨烯、顶层金属纳米颗粒和背栅。金属电极在两层石墨烯之间的夹层结构，形成双活性层。两层金属纳米颗粒修饰两层石墨烯的结构，实现对双波段、多波段光电响应增强。通过分别调控两层金属纳米颗粒，改变金属纳米颗粒的尺寸、材料及颗粒间距，实现对特定波长入射光选择性吸收增强及多波段的选择性光电探测。背栅电压调控进一步增强光的吸收，提高响应度。该探测器制备工艺简单，实现了室温下的高速、高灵敏、多波段探测，有效解决了双波段、多波段探测的迫切需求。