[发明专利]一种滚轮式曲面曝光方法在审
| 申请号： | 201911136766.1 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110794655A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 江洋;涂诗霞;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏上达电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/24 | 分类号： | G03F7/24;G03F7/20;G03F1/42 |
| 代理公司： | 11833 北京化育知识产权代理有限公司 | 代理人： | 涂琪顺 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种滚轮式曲面曝光方法，涉及线路板曝光技术领域。该滚轮式曲面曝光方法，包括以下步骤：S1、将待曝光的产品线路图形分别设计在曲面玻璃菲林上，将玻璃菲林放在曝光机中的滚轮式曝光台上；S2、曝光作业时卷带基材按照匹配的速度搬送，第一个玻璃菲林旋转至卷带基材正上方，曝光机上的链孔感应器通过捕捉卷带基材两侧的搬送孔与玻璃菲林上的对位标志完成对位；S3、曝光机照射UV光进行曝光，玻璃菲林上的线路图形转移到卷带式基材的光刻胶上。本发明相比目前行业中需要一照一曝光作业方式，能起到提高曝光后的单元与单元之间的距离，通过在玻璃菲林上设计对位标记孔，提高对位精度，提高曝光作业的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 菲林 玻璃 滚轮式 曝光机 对位 基材 卷带 线路图形转移 对位标记 对位标志 基材两侧 曝光技术 曲面玻璃 线路图形 作业方式 线路板 带基材 感应器 光刻胶 卷带式 链孔 良率 时卷 匹配 照射 捕捉 | ||
【主权项】：
1.一种滚轮式曲面曝光方法，其特征在于：包括以下步骤：/nS1、将待曝光的产品线路图形分别设计在曲面玻璃菲林上，将玻璃菲林放在曝光机中的滚轮式曝光台上；/nS2、曝光作业时卷带基材按照匹配的速度搬送，第一个玻璃菲林旋转至卷带基材正上方，曝光机上的链孔感应器通过捕捉卷带基材两侧的搬送孔与玻璃菲林上的对位标志完成对位；/nS3、曝光机照射UV光进行曝光，玻璃菲林上的线路图形转移到卷带式基材的光刻胶上；/nS4、接着，曝光机根据设定参数将基材搬送固定距离，同时滚筒式曝光台转动，使玻璃菲林旋转至曝光位置，通过识别感应器完成对位后，接着进行曝光作业；/nS5、曝光作业将玻璃菲林上的线路图形转移到卷带基材的感光阻剂上；/nS6、重复进行步骤4至步骤5，依次将玻璃菲林旋转至曝光位置进行曝光，曝光后，玻璃菲林上的线路图形转移到卷带基材的感光阻剂上,即完成产品的连续曝光作业。/n
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