[发明专利]带内加热装置的磁悬浮分子泵在审
申请号: | 201911136129.4 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN110863997A | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
发明(设计)人: | 邹蒙;李赏;张勤德 | 申请(专利权)人: | 北京中科科仪股份有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D25/08;F04D29/54;F04D29/58;G05D23/24 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 秦广成 |
地址: | 100190 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供的带内加热装置的磁悬浮分子泵,属于真空设备技术领域,包括:泵壳、转子、多级静片和拖动级定子,所述拖动级定子在所述泵壳内位于所述多级静叶的下端,在拖动级定子的外壁上设置有PTC热敏电阻;本发明提供的磁悬浮分子泵,采用PTC热敏电阻内置于泵壳内,并设置在拖动级定子的外壁上,通过PTC热敏电阻直接对拖动级定子进行加热,可提高对拖动级定子的加热效率,防止反应生成物在拖动级定子内凝结堆积;由于PTC热敏电阻阻值会随温度升高而增加,在温度达到预设温度后能够自动停止加热,因此可实现其自动恒温控制,而无需对PTC热敏电阻进行控制器控制,因此可简化温度控制系统,减小控制器体积及发热量。 | ||
搜索关键词: | 加热 装置 磁悬浮 分子 | ||
【主权项】:
暂无信息
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