[发明专利]带内加热装置的磁悬浮分子泵在审

专利信息
申请号: 201911136129.4 申请日: 2019-11-19
公开(公告)号: CN110863997A 公开(公告)日: 2020-03-06
发明(设计)人: 邹蒙;李赏;张勤德 申请(专利权)人: 北京中科科仪股份有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D25/08;F04D29/54;F04D29/58;G05D23/24
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 秦广成
地址: 100190 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供的带内加热装置的磁悬浮分子泵,属于真空设备技术领域,包括:泵壳、转子、多级静片和拖动级定子,所述拖动级定子在所述泵壳内位于所述多级静叶的下端,在拖动级定子的外壁上设置有PTC热敏电阻;本发明提供的磁悬浮分子泵,采用PTC热敏电阻内置于泵壳内,并设置在拖动级定子的外壁上,通过PTC热敏电阻直接对拖动级定子进行加热,可提高对拖动级定子的加热效率,防止反应生成物在拖动级定子内凝结堆积;由于PTC热敏电阻阻值会随温度升高而增加,在温度达到预设温度后能够自动停止加热,因此可实现其自动恒温控制,而无需对PTC热敏电阻进行控制器控制,因此可简化温度控制系统,减小控制器体积及发热量。
搜索关键词: 加热 装置 磁悬浮 分子
【主权项】:
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