[发明专利]一种组合式真空差分结构在审
| 申请号： | 201911135118.4 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110719682A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 刘俊男;王楠;陈明;祝万钱;薛松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | H05H7/18 | 分类号： | H05H7/18 |
| 代理公司： | 31002 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种组合式真空差分结构，其包括波纹管和差分管，所述波纹管的上游端与一双面刀口法兰相连，所述双面刀口法兰的中央处设有通孔，所述差分管设于波纹管的腔体内且一端固定于该双面刀口法兰的通孔处。本发明的组合式真空差分结构由于差分管伸入波纹管内部，该结构节省了空间，相当于增加了差分距离，提高了差分比，可以最大限度地利用设备间的有效距离，提高差分效率，进而在有限的空间内完成同步辐射光束线中不同设备间在超高真空环境中的工作压力过渡，结构紧凑，占用空间小；同时可以满足设备相对运动需求，以满足不同模式切换需求。 | ||
| 搜索关键词： | 波纹管 双面刀口 法兰 组合式真空 差分结构 设备间 分管 通孔 同步辐射光束线 超高真空环境 模式切换 有效距离 占用空间 上游端 中央处 伸入 体内 | ||
【主权项】：
1.一种组合式真空差分结构，其包括波纹管(1)和差分管(3)，其特征在于，所述波纹管(1)的上游端与一双面刀口法兰(2)相连，所述双面刀口法兰(2)的中央处设有通孔(211)，所述差分管(3)设于波纹管(1)的腔体内且一端固定于该双面刀口法兰(2)的通孔(211)处。/n
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