[发明专利]一种全视场外差移相测量自由曲面的装置有效
| 申请号： | 201911129052.8 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN110926360B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张文喜;吕彤;李杨;伍洲;孔新新;吕笑宇;汝洪武;王永彪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;陈亮 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全视场外差移相测量自由曲面的装置，所述装置包括光源模块、干涉模块、监视模块和成像模块，所述光源模块包括两个短相干光源、两个分光镜、两个声光移频器和高精度导轨，所述干涉模块包括空间滤波器、分光镜、准直镜和待测自由曲面；通过高精度导轨来调节光程，使之和参考面与被测面之间的光程进行匹配，通过采用白光干涉测量法对所述干涉图像数据进行分析处理，提取每个像素点的相干包络峰值，所有像素点的相对高度就组合成了待测自由曲面表面的整体形貌；最后通过三维重构得到其表面形貌，完成对待测自由曲面表面的测量。该装置只需进行光程匹配，不进行机械移相，从而缓解了对精度的苛刻要求，提高了实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 视场 外差 测量 自由 曲面 装置 | ||
【主权项】：
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