[发明专利]共平面栅极氧化物薄膜晶体管生物传感器及制备方法在审
| 申请号： | 201911128092.0 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN110865110A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 裴艳丽;杨彭;李亚 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01N27/327 | 分类号： | G01N27/327 |
| 代理公司： | 广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 | 代理人： | 李唐明;胡小英 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了共平面栅极氧化物薄膜晶体管生物传感器，包括衬底、绝缘层、源电极、漏电极、栅电极、源漏电极绝缘保护层和表面生物修饰的金属氧化物半导体有源层；所述源电极、漏电极和栅电极的材料相同，且三个电极共平面。其中加入的栅介质层为液态电解质，液态电解质覆盖半导体有源层和部分栅电极，栅电极露出液态电解质的部分供电路连接。本发明栅电极与源电极、漏电极共平面，同材料，可通过一步工艺完成源漏电极和栅电极的沉积，与半导体实现欧姆接触的同时具有工艺简单、可集成化、成本低等优势；同时液态电解质直接与半导体有源层和栅电极接触，其中液态电解质的双电层效应使得器件具有低工作电压和低功耗，有利于生物分子探测。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 栅极 氧化物 薄膜晶体管 生物 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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