[发明专利]振动传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911126176.0 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN110849468B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 尤政;阮勇;赵嘉昊;宋志强 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 魏朋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种振动传感器及其制备方法。上述振动传感器，包括基座和与所述基座的一端键合连接的悬臂梁结构以及压电结构。所述悬臂梁结构远离所述键合连接处的一端为振动部。所述压电结构包括依次重叠设置的第一电极层、压电层、种子层以及第二电极层。所述第二电极层设置于所述悬臂梁结构。所述振动传感器的悬臂梁结构采用一体化结构，并且所述压电结构包括种子层，可以提高压电层的质量从而提高压电性能，以适用于对燃气轮机、发动机、核反应堆等高温恶劣环境下的振动实时监测。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911126176.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
