[发明专利]一种工作在双波段的超导纳米线单光子探测器

摘要

本发明公开了一种工作在双波段的超导纳米线单光子探测器，包括：光敏区线宽为预设纳米的4级级联的分形光敏区结构；构建由上到下依次为金层、第一二氧化硅层、硅层、第二二氧化硅层、分形纳米线层、第三二氧化硅层、硅衬底层组成的腔体结构；对第一二氧化硅层、硅层与第二二氧化硅层的三层厚度进行调控，直到谐振波长偏移至所需要的吸收增强的两个波段。本发明通过对窄带光学腔体结构的改进，在双波段下实现光子吸收的增强；并利用4级级联的窄线宽分形纳米线结构，提高器件的内量子效率与探测信号的信噪比。