[发明专利]一种基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量系统及方法在审
| 申请号： | 201911113702.X | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110823127A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 薛帅;陈善勇;孔令伟;石峰;田野;铁贵鹏 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 谭武艺 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于圆柱面部分补偿器的非圆柱面面形干涉测量系统及方法，本发明系统包括波面干涉仪、平面镜头、圆柱面部分补偿器、待测非圆柱面、高精度测距装置，方法步骤包括在波面干涉仪的平面镜头与待测非圆柱面之间插入圆柱面部分补偿器；调整待测非圆柱面到圆柱面部分补偿器之间的距离，使干涉条纹可解析，并实施干涉检测；在圆柱面部分补偿器和波面干涉仪平面镜头之间插入高精度测距装置，测量圆柱面部分补偿器到待测非圆柱面的距离；在光学设计软件中对检测光路进行仿真，得到理论剩余像差；根据干涉测量结果和理论剩余像差获取待测非圆柱面的面形误差。本发明具有在不更换补偿器的情况下可对多种非圆柱面面形进行干涉测量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 圆柱面 部分 补偿 圆柱 面面 干涉 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
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