[发明专利]一种MEMS器件抗冲击止挡结构在审
| 申请号： | 201911110510.3 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110736855A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 凤瑞;周铭;商兴莲;蒋鹏;黄艳辉;鞠莉娜 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/14;B81B3/00 |
| 代理公司： | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 耿英 |
| 地址： | 215163 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS器件抗冲击止挡结构，包括通过梁结构连接到锚点结构上的质量块；锚点结构将质量块和梁结构悬浮于检测电极上；在检测电极周边设置高度高于检测电极并且朝向质量块的止挡凸点结构；质量块上朝向止挡凸点结构的位置设置弹性接触结构。当外界输入垂直方向强冲击或振动时，质量块在惯性力作用下沿垂直方向运动，当冲击或振动使得质量块运动到设计限位值时，质量块上加工出的弹性接触结构与衬底层或盖帽对应位置处的止挡凸点发生碰撞接触。质量块上的弹性接触结构在碰撞接触后沿垂直方向发生变形，进而缓冲吸收冲击能量，避免止挡结构因与质量块碰撞而在其接触点或接触面上产生应力集中现象，减小产生破碎或断裂的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 质量块 弹性接触结构 检测电极 止挡 凸点结构 止挡结构 梁结构 锚点 垂直方向运动 应力集中现象 惯性力作用 吸收冲击 周边设置 衬底层 断裂的 接触点 抗冲击 强冲击 位置处 盖帽 后沿 缓冲 减小 凸点 下沿 限位 破碎 悬浮 变形 加工 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件抗冲击止挡结构，其特征是，包括通过梁结构连接到锚点结构上的质量块；锚点结构将质量块和梁结构悬浮于检测电极上；在检测电极周边设置高度高于检测电极并且朝向质量块的止挡凸点结构；质量块上朝向止挡凸点结构的位置设置弹性接触结构。/n
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