[发明专利]一种超精密三轴铣床

摘要

本发明涉及机床领域，特别涉及一种超精密三轴铣床。本发明采用的技术方案是：一种超精密三轴铣床，包括X轴运动组件、Y轴运动组件、Z轴进给组件和基座组件，X轴运动组件包括X轴上溜板、X轴下溜板、X轴侧溜板、X轴气浮导轨、X轴直线电机，Y轴运动组件包括Y轴上溜板、Y轴下溜板、Y轴侧溜板、Y轴气浮导轨以及Y轴直线电机，Z轴进给组件包括Z轴上溜板、Z轴下溜板、Z轴侧溜板，Z轴气浮导轨、Z轴直线电机和Z轴电主轴，基座组件包括底座、基座平台。本发明的优点是：采用高精密的气浮导轨与机床运动部件相结合，有效的减少了机床的自振动，提高了导轨运动的定位精度和重复定位精度，有利于提高产品的加工精度和加工效果。

主权项

1.一种超精密三轴铣床，其特征在于：包括X轴运动组件(1)、Y轴运动组件(2)、Z轴进给组件(3)和基座组件(4)，所述X轴运动组件(1)通过X轴气浮导轨(1-3)与Y轴上溜板(2-1)固定连接，/n所述X轴运动组件(1)包括X轴上溜板(1-1)、与X轴上溜板(1-1)配合的X轴下溜板(1-2)、连接在X轴上溜板(1-1)和X轴下溜板(1-2)之间的X轴侧溜板(1-5)、X轴气浮导轨(1-3)、X轴直线电机(1-4)，所述X轴直线电机(1-4)设置在X轴气浮导轨(1-3)上，X轴上溜板(1-1)与X轴直线电机(1-4)固定连接，X轴气浮导轨(1-3)设置在X轴上溜板(1-1)和X轴下溜板(1-2)之间，在所述X轴气浮导轨(1-3)上设有光栅尺(1-10)以及与光栅尺配合使用的光电传感器(1-6)，待加工工件放置在所述X轴上溜板(1-1)的上表面上；/n所述Y轴运动组件(2)安装在基座平台(4-2)上，其包括Y轴上溜板(2-1)、与Y轴上溜板(2-1)配合的Y轴下溜板(2-2)、连接在Y轴上溜板(2-1)和Y轴下溜板(2-2)之间的Y轴侧溜板(2-4)、Y轴气浮导轨(2-6)以及Y轴直线电机(2-3)，所述Y轴直线电机(2-3)设置在Y轴气浮导轨(2-6)上，Y轴气浮导轨(2-6)设置在Y轴上溜板(2-1)和Y轴下溜板(2-2)之间，Y轴上溜板(2-1)与Y轴直线电机(2-3)固定连接；/n所述Z轴进给组件(3)倒立安装在所述龙门架(6)上，所述进给组件(3)包括Z轴上溜板(3-1)、与Z轴上溜板(3-1)配合的Z轴下溜板(3-2)、连接在Z轴上溜板(3-1)和Z轴下溜板(3-2)之间的Z轴侧溜板(3-3)、Z轴气浮导轨(3-4)、Z轴直线电机(3-5)和Z轴电主轴(3-6)，所述Z轴直线电机(3-5)设置在Z轴气浮导轨(3-4)上，所述Z轴电主轴(3-6)通过安装座(3-7)安装固定在Z轴气浮导轨(3-4)的下端部，Z轴电主轴(3-6)的锥孔可直接或通过附件安装刀具，所述Z轴上溜板(3-1)、Z轴下溜板(3-2)以及Z轴侧溜板(3-3)固定安装在龙门架(6)对应的侧面上；/n所述基座组件(4)包括底座(4-1)，在所述底座(4-1)上设有基座平台(4-2)，所述基座平台(4-2)安装固定在底座(4-1)上，在基座平台(4-2)的四个角下端面与底座(4-1)的上端面之间分别安装固定有独立隔振器(5)，所述基座平台(4-1)的两侧分别设有向上延伸的侧护板(4-3)，在两个侧护板(4-3)的顶部之间设有上护板(4-4)，在上护板(4-4)上安装有高出上护板(4-4)一定高度的龙门架(6)。/n