[发明专利]一种纳米线压力传感器及传感器阵列有效
| 申请号： | 201911109189.7 | 申请日： | 2019-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN112798156B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 解婧;李超波;邢建鹏;林琳;王欢;郜晨希;郑旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L1/22;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供的一种纳米线压力传感器及传感器阵列，包括：基底、纳米线阵列以及至少两个金属电极，所述金属电极和所述纳米线阵列均位于所述基底的同一面；所述纳米线阵列分布在所述金属电极之间，所述纳米线阵列含有两个以上的纳米线单元，每个所述纳米线单元至少与一个所述金属电极连接，所述金属电极用于给所述纳米线阵列施加电压。本发明中的纳米线压力传感器及传感器阵列具备高灵敏度可进行大面积应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压力传感器 传感器 阵列 | ||
【主权项】：
暂无信息
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