[发明专利]一种有源矩阵彩色显示器件的制造方法有效
| 申请号： | 201911097314.7 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN111048497B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 潘小和 | 申请（专利权）人： | 潘小和 |
| 主分类号： | H01L25/16 | 分类号： | H01L25/16;H01L25/00;H01L21/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 福建省厦门市思明*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种有源矩阵彩色显示器件的制造方法，在衬底上设置有源矩阵显示控制模块以及在衬底表面与有源矩阵显示控制模块连接的阳极电极阵列；在晶圆基底上外延生长半导体发光外延层；刻蚀以形成半导体发光器件阵列；将半导体发光器件阵列中的其中一组阵列的半导体发光器件与阳极电极阵列中的阳极电极一一对准并结合，通过选择性激光脉冲扫描技术将晶圆基底与其中一组阵列的半导体发光器件进行剥离并进行键合连接；重复以上步骤，将用于不同基色的半导体发光器件阵列先后依次交叉键合在阳极电极阵列上；填充半导体发光器件之间的沟隙；在半导体发光器件阵列表面设置阴极电极层。通过选择性激光扫描技术将半导体发光外延层的利用率提高3倍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有源 矩阵 彩色显示器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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