[发明专利]一种薄膜拉姆波谐振器、滤波器及其制造方法在审
| 申请号： | 201911096797.9 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN112787614A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张春燕 | 申请（专利权）人： | 上海珏芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201204 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜拉姆波谐振器、滤波器及其制造方法，其中薄膜拉姆波谐振器包括，第一基板，第一基板设有第一空腔；压电感应振荡片体，悬挂于第一空腔上方，且压电感应振荡片体的边界位于第一空腔围成的区域内部，压电感应振荡片体包括相对的第一面和第二面，第二面与第一空腔的底面相对；置于空腔内、第一面之上的至少第一组叉指式换能器和与第一组叉指式换能器平行相间的第二组叉指式换能器；第一导电互连片体，一端连接于第一组叉指式换能器，另一端跨越第一空腔延伸至第一基板上方。第二导电互连片体，一端连接于第二组叉指式换能器，另一端跨越第一空腔延伸至第一基板上方。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 拉姆波 谐振器 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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