[发明专利]一种电子级多晶硅生产过程中氢气净化设备碳吸附塔在审
申请号: | 201911096000.5 | 申请日: | 2019-11-11 |
公开(公告)号: | CN110877898A | 公开(公告)日: | 2020-03-13 |
发明(设计)人: | 刘刚;徐高敏;李有斌;郭民;郑永良;张万军;万金兰;李宏盼;郝连喜;陈叮琳;栗一甲;周国峰;刘存智 | 申请(专利权)人: | 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司 |
主分类号: | C01B3/56 | 分类号: | C01B3/56;B01D53/04 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 安曼 |
地址: | 810000 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本发明公开了一种电子级多晶硅生产过程中氢气净化设备碳吸附塔,包括呈筒体形式结构的塔体,所述塔体内部设有五组油输入管、五组油输出管和三十一根换热管,所述塔体外壁采用夹套形式,所述油输出管与输入管与塔内换热管及夹套相连接,所述塔体内部使用活性炭填充其余空间。本发明提高氢气纯度、降低氢气中杂质、提高系统的安全性、延长系统连续运行周期。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子 多晶 生产过程 氢气 净化 设备 吸附 | ||
【主权项】:
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