[发明专利]一种提升异质结太阳能电池电学性能的工艺方法

摘要

本发明公开了一种提升异质结太阳能电池电学性能的工艺方法，所述方法包括如下步骤：制绒清洗；CVD沉积非晶硅薄膜；PVD分别沉积高透光ITO薄膜和低电阻ITO薄膜；制作金属电极，以及蚀刻金属电极区域外的低电阻ITO薄膜。本发明使用了低电阻ITO薄膜跟金属电极形成欧姆接触，降低了接触电阻；同时使用了高透光ITO薄膜作为减反射薄膜，提升了短路电流，从而使异质结电池的转换效率有了较大的提升。所以本发明提供了一个高转换效率、低成本的提升电学性能的方案，对高效异质结电池的量产和发展具有非常重要的意义。