[发明专利]一种坩埚在审
申请号: | 201911077890.5 | 申请日: | 2019-11-06 |
公开(公告)号: | CN110656370A | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 许静;胡玉美 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种坩埚,包括:埚体,所述埚体内限定有一侧开口的腔室以盛放硅溶液,所述埚体的内侧壁上设有多条间隔开分布的凸起条纹,所述凸起条纹沿所述埚体的高度方向倾斜延伸。根据本发明的坩埚,埚体内限定有一侧开口的腔室以盛放硅溶液,埚体的内侧壁上设有多条间隔开分布的凸起条纹,凸起条纹沿埚体的高度方向倾斜延伸。埚体的内侧壁上设有多条间隔开分布的凸起条纹,在使用时,使得凸起条纹部分露出液面,在坩埚转速发生变化或者液面发生抖动时,凸起条纹能够抑制坩埚中溶液的液面抖动,压制液面的波动,使得液面快速达到稳定状态,避免单晶拉制过程的不稳定,提高单晶的拉制效果。 | ||
搜索关键词: | 凸起条纹 埚体 液面 内侧壁 坩埚 倾斜延伸 硅溶液 抖动 腔室 盛放 开口 体内 单晶拉制 坩埚转速 拉制 单晶 压制 | ||
【主权项】:
1.一种坩埚,其特征在于,包括:/n埚体,所述埚体内限定有一侧开口的腔室以盛放硅溶液,所述埚体的内侧壁上设有多条间隔开分布的凸起条纹,所述凸起条纹沿所述埚体的高度方向倾斜延伸。/n
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