[发明专利]一种可动狭缝装置及光刻系统有效
| 申请号： | 201911072975.4 | 申请日： | 2019-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN112782938B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 黄磊;李平欣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于光刻技术领域，具体公开了一种可动狭缝装置及光刻系统。可动狭缝装置包括基座、Y向拦光机构及X向拦光机构，Y向拦光机构包括Y向刀片和Y向驱动机构，Y向刀片包括第一连接部及第一拦光刀部，第一拦光刀部的一端形成有第一刀口，第一拦光刀部和第一连接部之间的夹角为60°～120°两组Y向拦光机构的第一刀口正对设置；X向拦光机构包括X向刀片，两组X向拦光机构的第二刀口正对设置；两个第二刀口及两个第一刀口能在XY投影面上围设形成矩形的狭缝窗口。光刻系统包括上述可动狭缝装置。本发明提供的可动狭缝装置及光刻系统，提高了可动狭缝装置的刀口散热性能，降低刀口半影，提高了刀口成像轮廓质量，提高光刻精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 狭缝 装置 光刻 系统 | ||
【主权项】：
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