[发明专利]基于滤光器片上集成多像素传感器的微型光谱仪在审
| 申请号： | 201911064122.6 | 申请日： | 2019-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN110672207A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 黄建;李睿智;李金;鄢真真;朱继鑫 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02;G01J3/12 |
| 代理公司： | 50215 重庆辉腾律师事务所 | 代理人： | 王海军 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供基于滤光器片上集成多像素传感器的微型光谱仪及制备方法，所述光谱仪包括聚光透镜和管壳，管壳的底座上设置有滤光器片上集成多像素传感器，所述滤光器片上集成多像素传感器的每个像元表面集成有特定的滤光器，不同位置的像元用于探测不同波段入射光，所述滤光器片上集成多像素传感器的特定位置设置有用于校正由位置不同造成的光谱测试偏差的空间光强校准像元，所述光谱仪在单芯片上同时实现光谱的分光与探测，无需衍射光栅或调谐腔等结构部件来辅助分光，具有光谱扫描速度快、体积小、光学系统简单、成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 滤光器 多像素传感器 片上集成 像元 光谱仪 分光 管壳 探测 微型光谱仪 表面集成 光谱测试 光谱扫描 光学系统 结构部件 聚光透镜 衍射光栅 校准 单芯片 调谐腔 空间光 入射光 体积小 波段 底座 光谱 制备 校正 | ||
【主权项】：
1.一种基于滤光器片上集成多像素传感器的微型光谱仪，包括聚光透镜和固定聚光透镜的管壳，所述管壳由底座和管帽组成，底座靠近聚光透镜侧的面上设置有压焊点，底座远离聚光透镜侧的面上设置有管脚，压焊点和管脚通过底座内部走线联通，其特征在于：/n所述底座靠近聚光透镜侧的面上设置有滤光器片上集成多像素传感器，所述滤光器片上集成多像素传感器通过贴片工艺与底座粘接，所述滤光器片上集成多像素传感器的压焊点与底座上对应的压焊点以键合工艺通过金属导线连接；/n所述滤光器片上集成多像素传感器的每个像元表面集成有特定的滤光器，不同位置的像元用于探测不同波段入射光，所述滤光器片上集成多像素传感器的特定位置还设置有用于校正由位置不同造成的光谱测试偏差的空间光强校准像元。/n
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