[发明专利]一种碳化硅烧结炉的抽真空装置

摘要

本发明公开了一种碳化硅烧结炉的抽真空装置，包括烧结炉和真空泵，所述烧结炉的出气端与真空泵的进气端通过导管连通，所述导管靠近烧结炉的一端滑动插设有安装块，所述安装块内设有通口，所述通口内依次固定插设有过滤网、杀菌网和吸附网，所述安装块的一端贯穿导管的内壁并向外延伸，所述安装块延伸的一端固定连接有固定块，所述导管的外壁上固定连接有卡块，所述卡块上滑动插设有卡杆，所述卡杆靠近卡块的一端固定套接有卡套，所述卡杆远离卡套的一端固定连接有拉杆。本发明中通过多处过滤机构的设置，使装置可以有效的对导管内的空气进行过滤，从而有效避免空气中的杂质损坏真空泵。