[发明专利]一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法有效
| 申请号： | 201911055503.8 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110629194B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李晓;李传星;胡晓君;陈成克;蒋梅燕;刘成;吕枫 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/02;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 周红芳 |
| 地址： | 310006 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：不锈钢样品前处理：将不锈钢样品进行砂纸打磨，用丙酮和无水乙醇超声处理，烘干备用；S2：不锈钢表面沉积Cr/CrAlN过渡层：将S1步骤中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台，将Cr、Al靶材安装到靶座上，在不锈钢基底表面沉积Cr膜及CrAlN薄膜，得到含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品；S3：在不锈钢表面制备金刚石薄膜：将S2步骤中含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品进行超声种晶，利用热丝HFCVD进行沉积金刚石薄膜，实现在含Cr/CrAlN为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。采用本发明的技术，使金刚石膜与不锈钢之间结合力高，在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cr craln 过渡 不锈钢 表面 制备 金刚石 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：/nS1：不锈钢样品前处理：将不锈钢样品进行砂纸打磨，用丙酮和无水乙醇超声处理，烘干备用；/nS2：不锈钢表面沉积Cr/CrAlN过渡层：将S1步骤中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台，将Cr、Al靶材安装到靶座上，在不锈钢基底表面沉积Cr膜及CrAlN薄膜，得到含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品；/nS3：在不锈钢表面制备金刚石薄膜：将S2步骤中含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品进行超声种晶，利用热丝HFCVD进行沉积金刚石薄膜，实现在含Cr/CrAlN为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学，未经浙江工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911055503.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
