[发明专利]温度控制方法、装置、系统及机器可读存储介质在审
| 申请号： | 201911042950.X | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110983442A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 张岩;刘兵;鲍慧强;李龙远;赵然;赵子强;陈菲菲 | 申请（专利权）人： | 中科钢研节能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00;G05D23/19 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 严政;刘依云 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及晶体生长技术领域，公开了一种温度控制方法、装置、系统及机器可读存储介质。加热线圈竖直套装在加热容器外，用于与电源连接以使加热容器被加热到预设温度值，该方法包括：监测所述加热容器的顶部实际温度值和底部实际温度值；控制所述加热线圈上下移动以使所述顶部实际温度值与所述底部实际温度值的实际温差值为目标温差值。本发明通过自动控制加热线圈的位置，可实现对晶体生长过程中石墨坩埚上下温差的有效控制，提高晶体生长温场分布的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 控制 方法 装置 系统 机器 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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