[发明专利]基板支撑单元和包括该基板支撑单元的基板处理装置在审

专利信息
申请号: 201911042495.3 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN111139457A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 李承桓;权学龙;金钟随;金成培;朴柱赫 申请(专利权)人: ASMIP私人控股有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;C23C16/455;C23C16/505;H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 焦玉恒
地址: 荷兰阿*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种能够在处理期间防止基板变形的基板处理装置包括基板支撑单元,其具有与待处理基板的边缘接触的接触表面,其中,基板支撑单元包括突出的(例如压纹的)结构,其从基部突出以支撑从待处理基板的边缘的内部的变形。
搜索关键词: 支撑 单元 包括 处理 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASMIP私人控股有限公司,未经ASMIP私人控股有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201911042495.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top