[发明专利]一种BBO晶体的表面机械冷加工方法在审
| 申请号： | 201911041654.8 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN110640555A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 李雄;余正建;范泉钦;陈仕积;郑演;张星;陈秋华;陈伟 | 申请（专利权）人： | 福建福晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350003 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种BBO晶体的表面机械冷加工方法，分为热胶上盘、细磨、高速抛光、低速抛光、精细抛光、精密抛光、光胶等工序。首先使用热胶将BBO晶体粘结后用W12氧化铝研磨液在氧化铝磨盘上细磨，其次使用W2.0的钻石抛光液在聚氨酯抛光垫上高速抛光，之后使用W0.25、W0.125钻石抛光液在沥青抛光盘上进行低速和精细抛光，最后使用W0.05的钻石抛光液在聚氨酯抛光垫上进行精密抛光。在200倍显微镜下在线检测BBO晶体表面质量合格后，送后道下盘、清洗、检验。本发明提供一种BBO晶体的表面机械冷加工方法，适用于BBO晶体工业化批量生产，能得到表面质量S/D达10/5，平面度达λ/8的BBO晶体产品。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光液 钻石 聚氨酯抛光垫 表面机械 高速抛光 精密抛光 精细抛光 冷加工 氧化铝 热胶 细磨 工业化批量生产 在线检测 抛光盘 平面度 研磨液 磨盘 抛光 显微镜 光胶 上盘 下盘 粘结 沥青 清洗 检验 | ||
【主权项】：
1.一种BBO晶体的表面机械冷加工方法，包括热胶上盘、细磨、高速抛光、低速抛光、精细抛光、精密抛光、光胶等步骤；其特征在于首先使用热胶将BBO晶体粘结后用W12氧化铝研磨液在氧化铝磨盘上细磨，其次使用W2.0的钻石抛光液在聚氨酯抛光垫上高速抛光，之后使用W0.25、W0.125钻石抛光液在沥青抛光盘上进行低速和精细抛光，最后使用W0.05的钻石抛光液在聚氨酯抛光垫上进行精密抛光在200倍显微镜下在线检测BBO晶体表面质量合格后，送后道下盘、清洗、检验。/n
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