[发明专利]一种透明样品的缺陷检测装置和检测方法有效
申请号: | 201911039659.7 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN110763686B | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 杨朝兴 | 申请(专利权)人: | 上海御微半导体技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/958;G01N21/41;G01N21/45 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种透明样品的缺陷检测装置和检测方法。该装置包括沿光路依次设置的光源、载物台、物镜、光栅板和图像采集装置;所述光源用于产生照明光束;照明光束的半径R不小于透明样品的直径2r;所述载物台用于承载透明样品;所述物镜位于所述载物台的承载面一侧;所述透明样品的中心轴与所述物镜的中心轴不重合;所述光栅板包括多个光栅,多个所述光栅的光栅周期不同;还包括处置装置,用于获取第一干涉图像和第二干涉图像,根据第一干涉图像和第二干涉图像获取所述透明样品的相位分布。本发明实施例消除了干涉图案中透明样品与自身的干涉,消除重复图像,更易提取透明样品的折射率分布。 | ||
搜索关键词: | 一种 透明 样品 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种透明样品的缺陷检测装置,其特征在于,包括:/n沿光路依次设置的光源、载物台、物镜、光栅板和图像采集装置;/n所述光源用于产生照明光束,所述照明光束的半径为R;所述载物台用于承载透明样品,所述透明样品的直径为2r,所述照明光束的半径R不小于所述透明样品的直径2r;所述物镜位于所述载物台的承载面一侧;所述透明样品的中心轴与所述物镜的中心轴不重合;所述光栅板位于所述物镜的焦面,所述光栅板包括多个光栅,多个所述光栅的光栅周期不同,所述照明光束经所述光栅板后产生衍射,所述衍射中的零级衍射和一级衍射产生干涉;所述图像采集装置用于获取所述载物台上承载所述透明样品进行检测时的第一干涉图像和移除所述载物台上的所述透明样品时的第二干涉图像;/n还包括处理装置,所述处理装置用于根据所述透明样品的半径r和所述照明光束的半径R确定适合所述透明样品的最小光栅周期p
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