[发明专利]用于硅片的插片装置

摘要

本申请公开了一种用于硅片的插片装置，包括支架和水箱，水箱的端口处设有朝向水箱内倾斜的导流板，导流板上等间设有贯穿导流板两端的多个第一凹槽，多个第一凹槽朝向水箱内设置，导流板远离水箱的端口处设有与第一凹槽垂直的第二凹槽，第二凹槽同时连通多个第一凹槽，第二凹槽底部设有进水口，水箱上方的机架上设有与导流板垂直的电缸，电缸通过滑块连接有摆臂，摆臂可延伸至水箱内，摆臂底部垂直设有与导流板衔接的底板，底板上托举有硅片料框。该插片装置通过进水口进水，水均匀流入各个第一凹槽内形成保护水膜，硅片放置在倾斜导流板上会随着水流方向插入底板上的料框内，通过电缸配合实现自动插片，插片效率高，且碎片率低。

主权项

1.一种用于硅片的插片装置，其特征在于：包括支架以及设置在支架上的水箱，所述水箱的端口处设有朝向水箱内倾斜的导流板，所述导流板上等间设有贯穿导流板两端的多个第一凹槽，多个所述第一凹槽朝向水箱内设置，所述导流板远离水箱的端口处设有与第一凹槽垂直的第二凹槽，所述第二凹槽同时连通多个第一凹槽，所述第二凹槽底部设有进水口，所述水箱上方的机架上设有与导流板垂直的电缸，所述电缸通过滑块连接有可上下移动的摆臂，所述摆臂可延伸至水箱内，所述摆臂底部垂直设有与导流板衔接的底板，所述底板上托举有硅片料框。/n