[发明专利]一种面阵色度测量装置及方法有效

专利信息
申请号: 201911020645.0 申请日: 2019-10-25
公开(公告)号: CN110514304B 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 洪志坤;张胜森;欧昌东;郑增强 申请(专利权)人: 武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
主分类号: G01J3/50 分类号: G01J3/50;G01J3/02
代理公司: 42222 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人: 胡琦旖
地址: 430205 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明属于半导体及显示技术领域,公开了一种面阵色度测量装置及方法,装置包括光谱仪、耦合器、多个测量单元,光谱仪与耦合器连接,耦合器与N个测量单元连接;方法为依次获取N个待检测样品的中心点光谱信息,在获取当前第K个待检测样品的中心点光谱信息的同时,获取其它M个待检测样品的图像信息;在获取完N个待检测样品的中心点光谱信息之前获取完N个待检测样品的图像信息,或者同时获取完N个待检测样品的中心点光谱信息与N个待检测样品的图像信息;根据待检测样品的中心点光谱信息得到待检测样品的中心点色度信息。本发明解决了现有技术中面阵色度测量的设备复杂、设备体积庞大、检测成本较高的问题,能够简化检测设备,降低检测成本。
搜索关键词: 待检测样品 中心点 光谱信息 图像信息 耦合器 光谱仪 测量单元 面阵 色度测量装置 简化检测 色度测量 色度信息 检测 半导体
【主权项】:
1.一种面阵色度测量装置,其特征在于,包括:光谱仪、耦合器、N个测量单元;/n所述光谱仪与所述耦合器连接,所述耦合器与N个所述测量单元连接;/n每个所述测量单元用于分时获取对应的待检测样品的中心点光谱信息以及图像信息;在获取完N个待检测样品的中心点光谱信息之前获取完N个待检测样品的图像信息,或者同时获取完N个待检测样品的中心点光谱信息与N个待检测样品的图像信息;/n所述光谱仪用于根据待检测样品的中心点光谱信息得到待检测样品的中心点色度信息。/n
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