[发明专利]用于蚀刻组合物的添加剂、其制备方法和包含其的蚀刻组合物有效
| 申请号： | 201911017313.7 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN111100640B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 金喆禹;沈由那;李帝豪;郭宰熏;金荣汎;赵珍耿 | 申请（专利权）人： | SK新技术株式会社;SK株式会社 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;C09K13/06;C07F9/53;C07F9/50;C07F7/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 安玉;罗达 |
| 地址： | 韩国首*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种具有高选择比的蚀刻组合物及其制备方法，所述蚀刻组合物能够选择性地去除氮化物膜并使氧化物膜的蚀刻速率最小化。本发明还提供了一种通过使磷酸酐与下式1表示的硅烷化合物反应而制备的蚀刻组合物添加剂，所述蚀刻组合物添加剂的制备方法和包含所述蚀刻组合物添加剂的蚀刻组合物：[式1] |
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| 搜索关键词： | 用于 蚀刻 组合 添加剂 制备 方法 包含 | ||
【主权项】：
暂无信息
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